光刻机霸主ASML（阿斯麦）已经开始出货新品Twinscan NXT:2000i DUV（NXT:2000i双工件台深紫外光刻机），可用于7nm和5nm节点。NXT:2000i将是NXE:3400B EUV光刻机的有效补充，毕竟台积电/GF的第一代7nm都是基于DUV工艺。
同时，NXT:2000i也成为了ASML旗下套刻精度（overlay）最高的产品，达到了和3400B一样的1.9nm（5nm要求执照2.4nm，7nm要求至少3.5nm）。
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